Сообщение от 14. 02. 2017 г. №4 о заинтересованности в проведении открытой процедуры закупки на право заключить договор на поставку установки дисковой резки типа adt 7122 или аналога



Скачать 258.88 Kb.
Дата02.03.2017
Размер258.88 Kb.
Просмотров306
Скачиваний0

СООБЩЕНИЕ от 14.02.2017 г. № 4

О ЗАИНТЕРЕСОВАННОСТИ В ПРОВЕДЕНИИ ОТКРЫТОЙ ПРОЦЕДУРЫ ЗАКУПКИ
НА ПРАВО ЗАКЛЮЧИТЬ ДОГОВОР НА поставку установки дисковой резки


типа ADT 7122 или аналога
АО «НИИ «Полюс» им. М.Ф.Стельмаха» сообщает о своей заинтересованности в проведении открытой процедуры закупки на право заключить договор на поставку установки для термического нанесения припоев (In, AgSn, SnAu) на базе установки «ЭЛАТО 600» в порядке, установленном Единым положением о закупке Государственной корпорации «Ростех» (утв. Наблюдательным советом Государственной корпорации «Ростех», протокол от «__» _____2017 г. №________).

Указанное сообщение не является публичной офертой.

АО «НИИ «Полюс» им. М.Ф.Стельмаха» просит всех заинтересованных лиц представить свои предложения по стоимости установки для термического нанесения припоев (In, AgSn, SnAu) на базе установки «ЭЛАТО 600» в соответствии с требованиями к продукции, сведениями о месте, сроках поставки продукции, порядке оплаты за продукцию (Приложения 1) и по форме (Приложение 2) направить их в письменном или в электронном виде (наличие электронно-цифровой подписи необязательно) (далее – Предложения).

АО «НИИ «Полюс» им. М.Ф.Стельмаха» информирует, что направленные в адрес заказчика Предложения не будут рассматриваться в качестве заявки на участие в процедуре закупки или оферты на заключение договора, и не дают в дальнейшем каких-либо преимуществ для лиц, подавших указанные Предложения.

АО «НИИ «Полюс» им. М.Ф.Стельмаха» сообщает всем заинтересованным лицам, что не будут учитываться Предложения:


  1. полученные по окончании установленного срока подачи Предложений;

  2. полученные от лиц, сведения о которых включены в реестр недобросовестных поставщиков согласно Федеральному закону от 18.07.2011 №223-ФЗ «О закупках товаров, работ, услуг отдельными видами юридических лиц» и/ или Федеральному закону от 05.04.2013 №44-ФЗ «О контрактной системе в сфере закупок товаров, работ, услуг для обеспечения государственных и муниципальных нужд»;

  3. полученные из анонимных источников;

  4. полученные от лиц, с которыми ранее заказчиком были заключены договоры/контракты, в ходе исполнения которых заказчиком были выявлены факты неисполнения (ненадлежащего исполнения) обязательств с применением к поставщику (подрядчику, исполнителю) неустойки и / или заказчиком было инициировано расторжение договора/контракта в одностороннем порядке в связи с неисполнением (ненадлежащим исполнением) поставщиком (подрядчиком, исполнителем) своих обязательств по договору;

  5. оформленные с нарушением требований, установленных настоящим сообщением, в том числе, но не исключительно:

  1. не содержащие цену за каждую единицу продукции;

  2. имеющие внутренние противоречия, арифметические ошибки, расхождения, свидетельствующие о возможности двусмысленного толкования представленного предложения;

  3. не подписанные (для Предложений, предоставляемых на бумажном носителе) или сканированные копии неподписанных документов (для Предложений, предоставляемых по электронной почте);

  4. не соответствующие установленным заказчиком, организатором закупки требованиям к закупаемой продукции, к участникам закупки.

Рассмотрение заказчиком поступивших Предложений не предполагает какого-либо информирования (в т.ч. публичного) лиц, подавших такие Предложения и иных лиц о результатах рассмотрения.

По результатам рассмотрения Предложений заключение договора не осуществляется.

Предложения принимаются по адресу: АО «НИИ «Полюс» им. М.Ф.Стельмаха», 117342, г. Москва, ул. Введенского, д. 3, к. 1, тел.: (495)333-00-44, elena_demidenko@mail.ru, Демиденко Елена Борисовна – ведущий экономист.

Срок подачи Предложений: до «____»________2017 г.

Приложения:


  1. требования к продукции; сведения о месте, сроках поставки продукции, порядке оплаты за продукцию;

  2. форма ответа с предоставлением ценовой информации.

С уважением,

Начальник отдела 340 – Лобинцов Александр Викторович (тел.: 8-916-692-27-72)

_______________/А.В.Лобинцов/



Исполнитель :Демиденко Елена Борисовна (тел.: 8-926-429-43-39)

Приложение № 1


к сообщению о заинтересованности №4 от 14.02.2017 г.
Требования к продукции
Вакуумно - напылительная установка для термического нанесения припоев (In, AgSn, SnAu) на базе установки «ЭЛАТО 600» закупается с целью обеспечения совместимости и взаимодействия поставляемого оборудования с уже имеющимся на предприятии. На имеющемся у заказчика оборудовании той же марки отработаны технологии нанесения покрытий с высокими качественными характеристиками, разработаны и изготовлены необходимые технологические оснастки, персонал прошел обучение. При закупке оборудования существует прямая необходимость обеспечения взаимодействия вновь закупаемого оборудования с уже существующей технологической линией ввиду унификации и повторяемости существующих технологических процессов, а также с целью унификации обслуживания, в связи с этим эквиваленты оборудования не допустимы.

Назначение


Установка предназначена для термического нанесения припоев (In, Sn, AgSn, SnAu, AuGe) на металлические и диэлектрические подложки в вакууме, рассчитана на функционирование в режиме 24-х часов в сутки при сохранении высокого качества техпроцесса, повторяемости, безопасности и простоты эксплуатации.
d:\проекты\- = [проработка] = -\elato-600_полюс\02. предпроектная стадия\элата-600.jpg

Изображение 1. Эскиз вакуумно-технологического оборудования



Установка обеспечивает проведение следующих технологических операций:

  • загрузка изделия в камеру;

  • нагрев до заданной температуры;

  • выдержка при заданной температуре;

  • предварительная очистка ионным источником;

  • термический процесс напыления из резистивных испарителей либо из электронного испарителя с кольцевым катодом;

  • напуск атмосферного воздуха/защитного газа в камеру;

  • выгрузка изделий.



Технические характеристики установки


  • Габаритные размеры, не более (Д×Ш×В): 2000×1800×2400,

  • Напряжение питания 220/380 В 50 Гц.;

  • Потребляемая мощность, не более 30 кВт.

  • Откачка: безмаслянная;

  • Предельное остаточное давление в камере, не хуже: 5·10-4 Па (3,75·10-6 Торр).

  • Предельное рабочее давление в камере, не выше 6,65·10-4 Па (5·10-6 Торр).

  • Время откачки камеры после открытия высоковакуумного затвора до предельного рабочего давления, не более: 30 мин.;

  • Установка предусматривает подачу и управление двумя газами (Ar, O2);

  • Защитный газ: N2.

  • Размеры обрабатываемых деталей (подложек): оснастка размером 80х70мм с установленными на нем деталями (подложкодержатель);

  • Материал деталей: металлические и диэлектрические подложки (ситал, медные контактные пластины, арсенид галия);

  • Максимальная производительность для указанных размеров, не менее: 8 подложкодержателей в смену;

  • Количество деталей в одной загрузке, не менее: 8 подложкодержателей с установленными на нем деталями;

  • Способ нагрева: ИК нагрев;

  • Максимальная температура нагрева деталей , оС: 350±5%

  • Испаряемые материалы: In, Sn, AgSn, SnAu, AuGe;

  • Напыляемая толщина покрытия: до 7 мкм;

  • Контроль процесса: по времени;

  • Свободные вакуумные фланцы, не менее: 2.

  • Равномерность по толщине напыленного слоя на подложке в неподвижном состоянии на расстоянии от расплава до поверхности кассеты - 200 мм, не хуже: ±8%



Состав установки и посистемное описание


Установка состоит из следующих систем и включает в себя:

  • камеру;

  • внутрикамерную оснастку;

  • систему вакуумной откачки;

  • технологическая система;

  • систему нагрева;

  • газовую систему;

  • систему охлаждения;

  • систему электропитания и управления в стойке управления;

3.1 Камера.


Предназначена для создания вакуума в замкнутом объеме и последующего проведения процесса нанесения тонких пленок методом термического напыления при определенном рабочем давлении защитного/технологического газа. Камера D-образной формы изготовлена из нержавеющей стали марки SUS304. Чистота обработки Rа внутренней поверхности вакуумной камеры не хуже 1,6 мкм. Вакуумная камера электрохимполированная. Камера имеет рубашку охлаждения

Камера через фланцы и вакуумные клапаны подсоединяется к системе вакуумной откачки и газовой системе установки. Предусмотрены подсоединительные фланцы ввода коммуникаций, фланцы для размещения технологических устройств, а также дополнительные свободные фланцы, в том числе для возможности подключения дополнительной термопары.

Вакуумная камера установлена на каркасе, сваренном из стального прямоугольного профиля и окрашенного, по умолчанию в серую цветовую гамму. Камера снабжена дверью на петлях для быстрого доступа и очистки внутрикамерных поверхностей. В двери камеры предусмотрено смотровое окно, содержащее в своем составе свинец и сталинит, предохраняемое от запыления защитным стеклом.

3.2 Внутрикамерная оснастка.


Максимальная загрузка на карусель - 8 подложкодержателей размером 80х70 мм для расположения деталей разного размера, включая плоские и объемные образцы (до 20 мм толщиной). Подложкодержатели устанавливаются как непосредственно на карусель, так и через регулируемые по высоте проставки (до 50 мм относительно плоскости карусели). Карусель (плоская, круглой формы) имеет возможность автоматической регулировки высоты во время технологического процесса относительно уровня расплава материала в распылительных устройствах в пределах от 100 мм до 350мм.
Карусель выполнена из жаропрочного сплава, предназначенного для работы при температуре до 350°С.

Предусмотрена возможность подачи на карусель напряжения смещения положительной полярности до 300В.

Вращение карусели в вакуумную камеру передаются с помощью ввода на магнитной жидкости. Конструкция ввода и система управления вращением позволяют осуществлять вращение до 20 об/мин, включая реверсивное, а также дискретное позиционирование каждой зоны напыления над технологическими секторами камеры. Подложкодержатели с образцами могут обрабатываться пошагово с возможностью сканирования над двумя ленточными испарителями. Последовательность и тип обработки задается оператором.

Конструкция камеры предусматривает возможность визуального контроля расплава в испарителе.

Для защиты внутренней поверхности камеры от напыляемых материалов предусмотрен комплект защиты. Защиты изготовлена из нержавеющей стали и подвергнута пескоструйной обработке.

3.3 Система вакуумной откачки.


Предназначена для создания необходимого разрежения объема камеры до предельного рабочего давления и последующего поддержания необходимого значения защитного/технологического газа при проведении процесса.

Система вакуумной откачки присоединяется к камере при помощи вакуумной линии, оснащенной вакуумной арматурой с быстроразъемными соединениями, и отсекающейся от камеры вакуумным клапаном, работающим от промышленной сети сжатого воздуха до 6 атм, а также трехпозиционным затвором с настраиваемым средним положением (настройка осуществляется во время наладки или при подготовке к процессу) для осуществления дросселирования откачки камеры.

В качестве механической низковакуумной откачки применен сухой насос Edwards XDS35i (или аналогичный) со скоростью откачки не менее 35 м3/ч, высоковакуумной – криогенный насос Dy не менее 250, обеспечивающий предельное рабочее давление в камере не выше 6,65·10-4 Па (5·10-6 Торр)). Регенерация крионасоса осуществляется в ручном режиме с применением термокожуха.

Контроль давления в камере осуществляется при помощи широкодиапазонного и yизковакуумного типа «Пирани» датчиков фирмы Edwards или Pfeiffer. Датчики подключаются с помощью стандартных разъемов непосредственно к аналоговым блокам контроллера. Широкодиапазонный датчик расположен на камере и работает а диапазоне давлений от атмосферного до 10-7 Па (по азоту); низковакуумный располагается на форвакуумной линии и является индикаторным для корректной отработки алгоритма откачки.


В качестве вакуумных клапанов используются пневматические клапана фирмы HTC или аналогичные, которые предназначены для перекрытия форвакуумной линии в зависимости от алгоритма откачки. Клапана имеет датчики состояния (открыт/закрыт).

Для напуска атмосферного воздуха или технологического газа в камеру предусмотрен клапан напуска с фильтром мелких частиц.

На форвакуумной линии предусмотрен ручной клапан с присоединительным фланцом KF25 и переходником с KF25 на KF40 в форвакуумной линии для подключения течеискателя.

3.4 Технологическая система.


Предназначена для термического нанесения припоев (In, Sn, AgSn, SnAu, AuGe), в том числе толстых слоев до 7 мкм на металлические и диэлектрические подложки (ситал, медные контактные пластины, арсенид галлия). Толщина получаемых покрытий задается временем проведения процесса или количеством материала, загружаемого в тигель.

Конструктивно технологическая система представляет собой блок технологических устройств, расположенных на дне камеры (Изображение 2), и включает в себя:



  • Электронный испаритель с кольцевым катодом;

  • Два резистивных испарителя (ленточных);

  • Ионный источник очистки.

Каждая позиция на рабочем столе камеры занимает свой технологический сектор и отделена защитным быстро разборным телескопическим экраном.

Изображение 2. Эскиз блока технологических устройств


3.3.1 Электронный испаритель с кольцевым катодом


Для нанесения на подложки материалов в камере установлен электронный испаритель с кольцевым катодом.

Питание испарителя обеспечивается блоком питания для разогрева катода и высоковольтным блоком мощностью не менее 3кВт. Система контроля обеспечивает автоматическое поддержание тока эмиссии ±5% от заданного значения. Выводы испарителя водоохлаждаемые. Электронный испаритель имеет индивидуальную заслонку.


3.3.2 Резистивный испаритель


Резистивные испарители служат для нанесения слоев металлов методом термического испарения. Конструктивно испарители - водоохлаждаемые штоки для ленточных испарителей типа «лодочка» (Изображение 3) с расстоянием между ними не менее 70 мм.

Изображение 3. Габаритные размеры «лодочки» резистивного испарителя

Каждый из испарителей имеет отдельный систему питания 3 кВт (5В-600А либо 10В-300А) со стабилизацией по току и регулировкой по мощности. Система коммутации и технологическая программа предусматривают возможность испарения из двух источников одновременно.

Каждый резистивный испаритель находится под защитной заслонкой.


3.3.3 Ионный источник очистки


Система ионно-лучевой очистки на базе протяженного источника ионно-лучевой очистки щелевого типа (IBCS) «Луч-140» (ускоритель с анодным слоем) предназначена для ионной обработки поверхности подложки непосредственно перед нанесением покрытия. Применяется для финишной очистки поверхности подложки от молекулярных частиц, адсорбированных газов, полимерных фрагментов, воды, а также для активации поверхностных связей подложки в вакуумной камере непосредственно перед нанесением покрытия. Длина линейного участка ионного пучка с зоной равномерной обработки - 100 мм.

Энергия ионов 400 eV - 1200 eV, линейная плотность тока разряда 4.2 мА/см.щели. Максимальное анодное напряжение 3,0 кВ. Поток газа: 10 – 50 sccm. Охлаждение источника осуществляется проточной водой. Имеет термоэлектрический компенсатор для нейтрализации пучка ионов. Ионный источник устанавливается на нижнем отдельном фланце.


Питание источника осуществляется от блока питания ионной очистки IPS-I1K. Компенсатор источника имеют отдельный блок питания IPS-C1.

3.5 Система нагрева.


Система нагрева состоит из 4 блоков ИК нагревателей мощностью не менее 0,8кВт каждый, которые предназначены для нагрева подложек до заданной температуры (в том числе в кислородной среде) с системой контроля и регулировки температуры во время процесса напыления.

Нагреватели расположены снизу и закрепляются на блоке технологических устройств.

Максимальная возможная температура нагрева подложек – 350°С.

Точность поддержания заданной температуры на подложке, обеспечивается ПИД-регулятором мощности SIPIN, но не хуже ±5%

Контроль температуры на подложках осуществляется по терморезисторам, закрепленных на карусели. Точность измерения температуры терморезистором не хуже ±10°С; контроль температуры в камере осуществляется при помощи термопары.

3.6 Газовая система.


Газовая система предназначена для напуска технологических газов (Ar, O2) в камеру в контролируемых по давлению условиях, а также для ее разгерметизации защитным газом (N2).

Напуск технологических газов осуществляется через две магистрали, рассчитанные на напуск в камеру одного из газов или их смеси. Каждая магистраль состоит из входного фитинга для подключения газа к ВТО, фильтра микрочастиц, ручного газового крана, понижающего редуктора давления, манометра, запорного электромагнитного клапана, регулятора расхода газа.


Поток газа из газовой магистрали подаётся на входные порты с фильтрующими элементами. С входных портов газ по металлическим трубопроводам через клапана поступают на регулятор давления, на котором задается необходимое рабочее давление. Далее технологический газ поступают на исполнительные элементы системы напуска. Для управления параметрами расхода газа при проведении процесса используются расходомеры, который в свою очередь управляются автоматизированной системой управления технологическим процессом (АСУ ТП) установки.

Магистраль напуска защитного газа состоит из входного фитинга, ручного газового крана, запорного электромагнитного клапана. Подача газа в камеру осуществляется по команде оператора.


3.7 Система охлаждения.


Предназначена для охлаждения камеры, исполнительных и откачных устройств и поддержания рабочего режима технологических устройств. Станция охлаждения выполнена в отдельном блоке, представляющая собой панель с водяными коллекторами (подачи и слива), к которым подключены потребители через отдельные каналы. Каждый канал снабжен электромагнитными клапанами подачи, ручным шаровым краном и датчиком наличия протока, который служит индикатором для системы управления и оповещения оператора. На станции установлены датчик давления воды и датчик температуры. Подача воды к потребителям осуществляется автоматически по технологическому рецепту.

Подвод охлаждающей жидкости к потребителям осуществляется по полиуретановым трубкам.

Для обеспечения требуемых параметров охлаждающей жидкости предполагается установка водяного рециркулятора фирмы SMC или EuroKlimat с воздушным охлаждением для обеспечения охлаждения хладагента установки до температуры не более 20°С в замкнутом контуре.

На выходе чиллера установлен фильтр тонкой очистки с размером ячейки сетки не более 200 мкм.

С целью исключения появления на стенках камеры и двери конденсата, предусматривается Термостат, который позволяет прогревать их до температуры 50°С.

3.8 Пневматическая система.


Система пневматическая предназначена для подачи сжатого воздуха к исполнительным элементам вакуумной установки. Она выполнена в виде отдельного блока, на базе пневмораспределителей компании SMC (монтажный блок, пневмораспределители и глушитель шума). Монтажный блок предназначен для фильтрации и подвода сжатого воздуха к пневматическим распределителям. Глушитель шума стоит на выходном (стравливающем) канале монтажного блока и предназначен для снижения уровня шума стравливаемого воздуха.

На входе системы имеется блок подготовки сжатого воздуха и манометр с редуктором для регулировки давления. Подача сжатого воздуха к исполнительным устройствам реализуется по полиуретановым трубкам.


3.9 Система электропитания.


Стойка управления и питания выполнена в едином блоке с каркасом установки и располагается в отдельном электрическом шкафу. В ней находятся все блоки питания, электронные блоки, автоматические выключатели, система контроля и управления.

Система электропитания предназначена для распределения электропитания между отдельными потребителями установки, их защиты по току и дифференциальной защиты всей установки.

Подвод питания к установке осуществляется пятижильным проводом (3AC,N,PE).

Используемый в установке контроллер наличия фаз отслеживает наличие питающего напряжения и, в случае отклонения от заданных значений либо пропадании, выводит предупреждение на дисплей панели оператора, который находится на двери стойки. Там же располагаются кнопки питания «пуск\стоп», позволяющие осуществлять включение/выключение установки в одно касание. На передней части установки размещена кнопка аварийного отключения установки.

В установке предусмотрен источник бесперебойного питания, который предназначен для обеспечения бесперебойной работы ПК и контроллера, а также для возможности корректного сохранения и закрытия рецепта в случае пропадания питающего напряжения.

Под быстросъемными защитно-декоративными панелями, а также в электрическом отсеке камеры предусмотрены концевые выключатели, которые, в случае снятия либо открытия панелей, обесточивают высокоточные устройства.

Корпус рабочей камеры, каркас установки, съемные обшивки установки, электрический отсек находятся под одинаковым нулевым потенциалом с выводом заземляющего провода на колодку для подключения провода заземления. Также в установке предусмотрено место для подсоединения установки к контуру заземления помещения.

3.10 Система управления.


Система управления предназначена для ручного и автоматического управления работой установки и отображения основных параметров на дисплее системы управления (индикация в реальном времени давления в камере, текущих параметров процесса и других значений).

Управление установкой осуществляется при помощи программируемого логического контроллера (ПЛК) связанного через интерфейс с сенсорным панельным компьютером.

Для обеспечения функционирования ПЛК и задания параметров в установке предусмотрен компьютер с предустановленным программным обеспечением и имеющий в своем составе:


  1. Два жестких диска, соединенные в рейд массив, для предотвращения потери информации;

  2. Установленную лицензионную операционную систему Windows7;

  3. Беспроводную клавиатуру и мышь;

  4. Программное обеспечение для удаленного доступа к компьютеру;

  5. Программное обеспечение для управления процессом;

  6. Программное обеспечение, позволяющее работать с документацией и файлами .

Интерфейс управления реализован на встроенной в среду разработки визуализации. Визуализация позволяет сохранять параметры в памяти контроллера, которые впоследствии могут быть использованы оператором.

Приоритет окончания процесса задается оператором (время, температура, давление). Также интерфейс позволяет редактировать рецепты не останавливая процесс. Данная опция осуществляется посредством приостановки исполняемого процесса на время редактирования. После внесения необходимых изменений, напыление можно продолжить.

В системе управления предусмотрена возможность управления профилями пользователей с раздельным доступом и набором прав для оператора, наладчика и инженера.

На экране в отдельных окнах в режиме реального времени визуально в виде таблиц и анимированных рисунков отображаются состояние основных узлов и параметры технологического процесса:



    • мнемоника вакуумной системы с отображением давлений (в паскалях) в отдельных ее элементах;

    • индикация напуска рабочих газов;

    • осуществление нагрева;

    • состояние системы охлаждения;

    • положение карусели;

    • параметры работы электронного источника с кольцевым катодом;

    • параметры работы резистивных испарителей;

    • параметры работы ионного источника;

    • параметры системы вращения;

    • прочие параметры процессов.

Контроллер также собирает и обрабатывает поступающую информацию с различных датчиков и выполняет заложенные алгоритмы реагирования:

- при возникновении аварийной ситуации останавливает работу установки, если она угрожает работоспособности оборудования или персонала;

- при возникновении аварийной ситуации либо ошибок подавать исполнительный сигнал на звуковую и световую индикацию, а также выводить на дисплей предупреждения либо ошибки с их описанием.

- обеспечивает запись  в журнал либо в память системы с указанием даты и времени, с возможностью последующего доступа персонала для просмотра.


Основные технические и конструктивные особенности


  • Установка снабжена стопорящимися упорами для выравнивания установки на рабочей позиции и имеет четыре колёса, предназначенные для перемещения установки по помещению.

  • Доступ к расположенным внутри корпуса узлам и блокам осуществляется через съемные или открывающиеся защитно-декоративные панели, устанавливаемые на каркасе.

  • Материал для изготовления вакуумных и газовых магистралей - сталь SUS304.

  • Конструкция и дизайн установки соответствуют современным требованиям технического дизайна и технической эстетики ГОСТ Р ИСО 6385-2007

Технические требования к системам обеспечения предприятия


Подключение установки от силового щитка помещения осуществляет Заказчик в присутствии Исполнителя.

Подключение установки к газовой системе осуществляется Заказчиком совместно с Исполнителем.

Подключение рециркулятора и подача воды к установке осуществляется на этапе пусконаладки.

Подключение установки к системе сжатого воздуха осуществляет Заказчик совместно с Исполнителем.


Специальные требования


Исполнитель передает Заказчику в комплекте с изделием:

  • формуляр и паспорт изделия;

  • техническое описание изделия;

  • инструкцию по эксплуатации изделия;

  • комплект электрических схем, включая схему электрическую принципиальную.

Исполнитель также передает Заказчику паспорта и технические описания на основные комплектующие изделия, а также при наличии, носители с инсталяторами программ, установленных на компьютере.

Материалы, образцы и подложкодержатели для приемочных испытаний и сдачи установки предоставляются Заказчиком.

Состав поставки


Наименование системы, состав*

Коли-чество

Производитель

Примечание

Вакуумный пост




Камера вакуумная

1

Изовак

Эквивалент недопустим

Дверь вакуумной камеры

1

Изовак

Эквивалент недопустим

Каркас со стойкой управления

1

Изовак

Эквивалент недопустим

Защитные крышки каркаса

1компл

Изовак

Эквивалент недопустим

Оснастка внутрикамерная




Система вращения карусели

1

Изовак

Эквивалент недопустим

Система подъема карусели

1

Изовак

Эквивалент недопустим

Карусель в сборе с устройствами крепления подложек

1

Изовак

Эквивалент недопустим

Защита внутрикамерная

2компл

Изовак

Эквивалент недопустим

Система вакуумной откачки




Насос механический безмаслянный

1

Edwards

Или аналогичный

Насос криогенный с криокомпрессором

1

ULVAC

Или аналогичный

Затвор высоковакуумный

1

HVA

Или аналогичный

Датчик низковакуумный

1

Edwards

Или аналогичный

Датчик широкодиапазонный

1

Edwards

Или аналогичный

Клапана откачки

2

Htc

Или аналогичный

Клапан напуска

1

Htc

Или аналогичный

Форвакуумная линия в сборе

1компл

Изовак

Эквивалент недопустим

Система технологическая

Электронный испаритель с кольцевым катодом

1

Изовак

Эквивалент недопустим

Резистивный испаритель с блоком питания

2

Изовак

Эквивалент недопустим

Ионный источник очистки с компенсатором ионного заряда

1

Изовак

Эквивалент недопустим

Система нагрева

Узел нагрева

1компл

Изовак

Эквивалент недопустим

Регулятор мощности

1

SIPIN




Термопара с термопарным вводом

1

Изовак

Эквивалент недопустим

Узел контроля температуры карусели

2

Изовак

Эквивалент недопустим

Система газовая

Фильтр очистки газа

3

SMC




Регулятор давления

2

SMC




Клапан ручной

3

Swagelok




Манометр

2

SMC




Клапан электромагнитный

3

SMC




Расходомер

2

Pneucleus Tech. LLC

Или аналогичный

Газовая линия в сборе

1компл

Изовак

Эквивалент недопустим

Система охлаждения

Рециркулятор

1

SMC

Или аналогичный

Термостат

1

EuroChiller

Или аналогичный

Кран шаровый

5







Клапан электромагнитный

5

SMC

Или аналогичный

Датчик (реле) протока

5

SMC

Или аналогичный

Линия охлаждения в сборе

1компл

Изовак

Эквивалент недопустим

Система пневматическая

Регулятор входного давления с манометром

1

SMC




Блок пневмораспределителей

1

SMC




Пневматическая линия в сборе

1

Изовак

Эквивалент недопустим

Система электропитания

БП общий (распределенный)

1

Изовак




БП смещения напряжения на карусели

1

Lambda

Или аналогичный

БП электронного испарителя

1

Изовак

Эквивалент недопустим

БП резистивного испарителя

2

Изовак

Эквивалент недопустим

Блок питания ионного источника

1

Изовак

Эквивалент недопустим

Блок питания компенсатора ионного заряда

1

Изовак

Эквивалент недопустим

Система управления

Сенсорный панельный компьютер

1




или сенсорная панель + ПК

Клавиатура и мышь

1компл







Контроллер (распределенный)

1

Beckhoff

Или аналогичный

Комплект программного обеспечения

Операционная система

1

WINDOWS




Специализированное ПО

1

Master SCADA




Шаблоны процессов

1

Изовак

Эквивалент недопустим

Редактор операций

1

Изовак

Эквивалент недопустим

Комплект эксплуатационной документации (в бумажном виде и на компакт-диске)

1компл







Запасные изделия прилагаемые (ЗИП)

1компл




Согласно списку

Опционально

СПИСОК Запасных изделий прилагаемых


Вакуумно-технологическое оборудование должно включать в себя следующий перечень запасных частей, принадлежностей и расходных материалов (ЗИП):

  • вакуумные уплотнения KF (по 5 шт. из применяемой номенклатуры);

  • быстросъемный фланцевый хомут KF (по 5 шт. из применяемой номенклатуры);

  • уплотнение двери камеры (1 шт.);

  • стекло для смотрового окна (1 шт.);

  • комплект уплотнений для смотрового окна (1 компл.);

  • защитные стекла для смотрового окна (2 шт.);

  • вакуумные клапана (по 1шт. из применяемой номенклатуры);

  • широкодиапазонный датчик давления (2 шт.)

  • низковакуумный датчик давления (2 шт.)

  • регуляторы расхода газа (2 шт.);

  • датчики протока воды (3 шт.)

  • лампы нагревателей (24шт.);

  • комплект плавких вставок (1 комл.);

  • катоды нейтрализации для ионного источника (5 шт.);

  • комплект электродов (центральный и внешний) для ионного источника (2 компл.);

  • тигли для электронно-лучевого испарителя (20 шт.);

  • кольцевые катоды для электронного испарителя (30 шт.);

  • молибден листовой для ленточных испарителей («лодочек») (0,3 м2).


Перечень определяемых показателей


№ п/п

Наименование показателя

Номинальное значение

Предельное отклонение



Время откачки до предельного рабочего давления 6,65·10-4 Па (5·10-6 Торр) после открытия высоковакуумного затвора , не более, мин

(перед проведением испытаний вакуумная камера должна быть предварительно откачена, напуск в камеру производить осушенным сжатым воздухом или азотом)



30мин






Выход на значение предельного рабочего вакуума и последующий напуск воздуха в автоматическом режиме (перед проведением испытаний вакуумная камера должна быть предварительно откачена, напуск в камеру производить осушенным сжатым воздухом или азотом)

Отсутствие нарушений и сбоев при проведении двух последовательных циклов «вакуумирование - напуск»






Проверка работоспособности технологических устройств

Запуск и функционирование технологических устройств без сбоев в соответствии с заданными режимами






Нанесение покрытий для подтверждения технологического назначения установки (Покрытие наносить в автоматическом режиме работы ВТО по заданному рецепту)

Отработка установки в автоматическом режиме без сбоев






Неравномерность по толщине напылённого до 7мкм слоя по подложке, не более

(Покрытие наносить в автоматическом режиме работы ВТО по заданному рецепту в неподвижном состоянии на расстоянии от расплава до поверхности подложкодержателя с образцами - 200 мм)



± 8%






Максимальная температура нагрева подложек

350°С

± 5%



Скорость вращения карусели регулируемая плавная

0-20 об/мин






Режим сканирования и дискретное позиционирование, регулировка высоты карусели

Отработка установки режимов сканирования, дискретного позиционирования, установки высоты без сбоев





Сведения о месте, сроках поставки продукции, порядке оплаты за продукцию
Срок поставки: не более 210 дней с даты заключения Контракта.

При поставке оборудования должны быть представлены следующие сопутствующие работы/услуги:

- доставка и разгрузка оборудования по адресу: 117342 г. Москва, ул. Введенского,
д. 3, к. 1;

- монтаж и ввод в эксплуатацию поставленного оборудования;

- инструктаж персонала Заказчика по адресу поставки по работе с поставляемым оборудованием, а также подготовка и представление Заказчику подробных инструкций по эксплуатации и техническому обслуживанию поставляемого оборудования на русском языке.

Оплата поэтапная:

1 этап – 30% от цены Контракта в течение 10 (десяти) банковских дней после поставки конструкторской документации (КД) Заказчику и подписания Сторонами Акта приема-передачи комплекта конструкторской документации, Акта о соответствии конструкторской документации и программы и методики испытаний требованиям Заказчика.

2 этап – 70% от цены Контракта в течение 10 (десяти) банковских дней после проведения приемо-сдаточных испытаний Оборудования на площадке Производителя, подписания Акта приемо-сдаточных испытаний, поставки Оборудования Заказчику, подписания товарных накладных по унифицированной форме ТОРГ-12 или универсального передаточного документа и Акта приема-передачи и подписания Акта исполнения обязательств по Контракту.

Гарантия на поставляемое Оборудование должна составлять не менее 18 месяцев с даты подписания Акта ввода в эксплуатацию.

Приложение № 2


к сообщению о заинтересованности № 4 от 14.02.2017 г.
_________________ [указать полное наименование юридического лица с указанием организационно-правовой формы, адреса места регистрации (для юридического лица), Ф.И.О., адрес регистрации (для физического лица), ИНН, ОГРН (для юридического лица), контактные данные] в ответ на ваше сообщение о заинтересованности от [указать дату сообщения] № [указывается номер сообщения о заинтересованности] сообщает запрошенную ценовую информацию по состоянию на [указать дату, на которую действительна ценовая информация].

№ п/п

Наименование каждой единицы товара, работы, услуги

Ед. изм.

Кол-во в ед.изм.

Цена за ед. изм., руб.

Ставка НДС, %

Итого за указанное количество с НДС, руб.

Примечания

1.






















2.
















































ИТОГО

х

Х

х

х







_______________________________________



(Ф.И.О., должность, контактный телефон)

_______________/______________________/



(подпись/расшифровка подписи)

Исполнитель : _____________________-

(контактный телефон исполнителя)

Поделитесь с Вашими друзьями:


База данных защищена авторским правом ©nethash.ru 2017
обратиться к администрации

войти | регистрация
    Главная страница


загрузить материал